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SMIP

2020/8/13  

ウェハカセットの搬送·保管のケース(ポッド)。SMIFはポッド内のウェハカセットの出し入れを上下で行う。

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FOUP

2020/8/13  

ウェハカセットの搬送·保管のケース(ポッド)。FOUPはポッド内のウェハカセットの出し入れを前後に行う。

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オリフラ

2020/8/13  

オリフラは、前工程でのウエハの位置決めで使用する。

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インゴット

2020/8/13  

シリコン単結晶の棒。インゴットをスライスしてウエハを作る。

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ウェハ

2020/8/13  

シリコンなどのインゴットを薄くスライスした円盤状の板。この上に各種のICが作られる。ウェハの大きさは、 50mm~300mmまで各種あり、 口径が大きいと1枚のウエハから多くのICチップを切り出すこと ...

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エポキシ

2020/8/13  

代表的な接着剤。耐薬品性、 耐久性に優れる。

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アクリル

2020/8/13  

透明性の高い非晶質の合成樹脂。 酸·アルカリ·有機溶剤に対する耐性は弱い。(例: 照明器具のカバー)

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FRP

2020/8/13  

ガラス繊維などの強力な繊維を加えたプラスチックで、 強度、剛性、 耐熱性などの性質を向上させた複合材料。

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アンプル

2020/8/13  

注射剤の入れ物。ガラスの筒に薬剤を入れた後に先端を培封したもの。頭部を折って薬剤を取り出す。 従来のものは、アンプルカッターと呼ばれるヤスリを用いて首に傷を付けて折っていたが、近年は傷を付けなくても頭 ...

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圧縮成形

2020/8/13  

成形法の一つ。タイ焼きと同じ原理で、金型の中に樹脂を入れ、加熱·圧縮して成形する方法。 熱硬化性樹脂を使用して椀、皿、キャップなどのような立体的な成形品を作るのに使われる。「射出成形」に比べて、成形ス ...

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