HOME > 用語集 > あ行 > あ行 SMIP 2020年8月13日 ウェハカセットの搬送·保管のケース(ポッド)。SMIFはポッド内のウェハカセットの出し入れを上下で行う。 スポンサーリンク スポンサーリンク Twitter Share Pocket Hatena LINE コピーする -あ行