HOME > 用語集 > あ行 > あ行 FOUP 2020年8月13日 ウェハカセットの搬送·保管のケース(ポッド)。FOUPはポッド内のウェハカセットの出し入れを前後に行う。 スポンサーリンク スポンサーリンク Twitter Share Pocket Hatena LINE コピーする -あ行