HOME > 用語集 > た行 > た行 チャンバ 2020年8月13日 その中で物理的、 化学的反応を起にさせるための密閉した反応容器。 ICの製造では、 CVD、エッチングなどの各工程で使われる。 スポンサーリンク スポンサーリンク Twitter Share Pocket Hatena LINE コピーする -た行