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チャンバー内の状態を確認するための窓。

ウェハ上に多数のICを作り込むための製造工程 (前工程)で、 ウェハに各種のプロセス処理を施す際、 何枚かのウェーハをひとまとめにして同時に処理するタイプの処理、あるいは処理法。

不揮発性半導体メモリの一種。 DRAMに匹敵するほど高い集積度と記憶速度が可能なことが特長である。

集積回路のこと。特定の複雑な機能を果たす為に、 多数の素子をーつにまとめた電子部品。 主に半導体で構成された電子回路が複数の端子を持つ小型パッケージに封入されている。 VLSIとはICのうち、素子の集 ...

あるときは電気を通したり、 あるときは電気を通さなかったりする、条件によって「2つの顔」をもつ物質。 (導体と絶縁体の中間の物質)代表的な物質にシリコンがある。 一般的に半導体とは、ウエーハ(基板)の ...

IC製造工程で使用されるパターン原版で、 シリコンウエハに回路を転写するために使用される。レチクルとも言う。

露光時に使われる感光剤のこと。

2つ以上の単量体が重合反応してできた化合物。 身近なものとしては、 繊維に用いられるナイロン、 ポリ袋のポリエチレンなどの合成樹脂がある。

合成樹脂(プラスチック)の一つで耐電圧、電気抵抗率に優れ、 かつ耐薬品性も高い。ケーブルの原材料のため、ケーブルの呼称となることもある。(例:ケーブルの被覆)

結晶性樹脂の一種。耐熱性、 耐薬品性、 耐腐食性に優れ、 家電製品、 自動車部品、食品包装フィルム、雑貨などに広く使われている。