HOME > 用語集 > さ行 > さ行 CVD 2021年1月2日 Chemical Vapor Deposition。 IC等の製造工程で、基板上にシリコンなどの薄膜を作る工業的手法。シリコン酸化膜、 シリコン室化膜、 アモルファスシリコン薄膜などの製造に用いられる。その過程で化学反応を用いるので、 このように呼ばれる。 スポンサーリンク スポンサーリンク Twitter Share Pocket Hatena LINE コピーする -さ行