さ行

真空ポンプ

密閉容器などの中から空気を吸い出して真空を得るためのボンプ。どれだけの高真空を必要とするか、 また排気する気体の成分によって、 使用すべき真空ポンプは異なる。

真空ポンプは、構造に油を用いるウェットポンプと、油を用いないドライボンプとに大別される。一般的に、ウェットポンプは排気量、到達圧力、価格などの総合面で優れた性能を持つ油回転型真空ポンプ (ロータリーポンプ)が大きく普及。ドライポンプは油汚染を嫌う用途で使用されることが多いが、 吸着装置やアスピレータなどの低真空向けで安価なダイヤフラムボンプを使うといった場合にも用いられる。

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