か行

クリーンルーム

半導体や薬品、 液晶の製造には不可欠。空気中における浮遊微粒 子、 浮遊微生物が限定された清浄度レベル以下に管理され、 また、 その空間に供給される材料、薬品、水などについても要求される清浄度が保持され、 必要に応じて温度、湿度などの環境条件についても管理が行われている空間。

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